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一种远程、多点、实时的洁净度监测系统设计
一种远程、多点、实时的洁净度监测系统设计
来源 :宇航计测技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:an123
【摘 要】
:
为了满足各类实验室不断提高的洁净度监测实时性要求,设计了一种可远程控制、可实时监测、可多点监测、可集中显示、可分析数据的洁净度监测系统。
【作 者】
:
季启政
顾世红
陈建
何玉俊
【机 构】
:
北京东方计量测试研究所,苏州苏净仪器自控设备有限公司
【出 处】
:
宇航计测技术
【发表日期】
:
2009年6期
【关键词】
:
洁净度
监测系统
设计
散射
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为了满足各类实验室不断提高的洁净度监测实时性要求,设计了一种可远程控制、可实时监测、可多点监测、可集中显示、可分析数据的洁净度监测系统。
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