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影响XeCl准分子激光器寿命的因素
影响XeCl准分子激光器寿命的因素
来源 :电子器件 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lianxirenll520
【摘 要】
:
准分子激光器的推广应用与其寿命的改善有着很密切的关系.现以XeCl准分子激光器为例讨论了对激光器寿命影响比较大的两大因素:高速放电开关和激光腔体.
【作 者】
:
邓光明
吴旭峰
凌一鸣
【机 构】
:
东南大学电子工程系
【出 处】
:
电子器件
【发表日期】
:
2003年1期
【关键词】
:
准分子激光器
寿命
气体污染
高速放电开关
excimer laser
lifetime
gas condamination
fast switch
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准分子激光器的推广应用与其寿命的改善有着很密切的关系.现以XeCl准分子激光器为例讨论了对激光器寿命影响比较大的两大因素:高速放电开关和激光腔体.
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