用喷涂法和溶胶-凝胶工艺制备PT/SnO_2(Sb)/SiO_2薄膜

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用喷涂法在石英玻璃衬底上制备RS为100~200Ω/cm2的SnO2(Sb)透明导电薄膜,并且以SnO2(Sb)/SiO2为衬底和底电极,用Sol-Gel法制备PbTiO3(PT)薄膜.PT膜为多晶,与SnO2(Sb)膜之间不存在界面反应. A SnO2 (Sb) transparent conductive thin film with RS of 100 ~ 200Ω / cm2 was prepared on a quartz glass substrate by spray coating. The PbTiO3 (PT) )film. The PT film is polycrystalline with no interfacial reaction with the SnO2 (Sb) film.
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