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介绍了二元光学元件激光直写设备的精密伺服控制系统，分析了主轴 伺服系统 的结构与控制系统的性能要求。在二元光学元件激光直写设备中，主轴速度调节效果的好坏是决定刻划效率与精度的关键因素之一。本文提出了利用离焦信号的特点，判断出离焦信号的极值点，并计算相邻极值点之间的时间间隔，最终估算出离焦信号频带，并依据离焦信号的频带自动调节主轴速度的新方法。采用此方法可极大地提高刻划效率。