论文部分内容阅读
借助IMS,AES,RBS和Be注入InSb的快速热退火特性进行了深入的研究。Be注入能量为100keV,注入剂量为5X10^14cm^-2.快速热退火温度范围为300-500℃,退火时间为30-60秒。结果表明,快速退火后,Be注入分布剖面的内侧不存在再分布,但峰值浓度有不同程度的降低,表面存在Be的外扩散,350℃退火,Be注入InSb的晶体损伤基本消除,InSb不存在化学配比的偏离。退火温度