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锆—钛陶瓷的研制
锆—钛陶瓷的研制
来源 :江苏陶瓷 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yangfei223752
【摘 要】
:
<正> 前言锆—钛陶瓷作为一种新型陶瓷材料,目前在一些科研单位已被广泛使用来作为“靶材”,从而制得各色光学薄膜。这种陶瓷材料应致密均匀,且较容易地被电子束轰击,蒸发溅
【作 者】
:
金兴根
【机 构】
:
国营第八九八厂陶瓷分厂
【出 处】
:
江苏陶瓷
【发表日期】
:
1989年2期
【关键词】
:
锆-钛陶瓷
靶材
二氧化锆
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<正> 前言锆—钛陶瓷作为一种新型陶瓷材料,目前在一些科研单位已被广泛使用来作为“靶材”,从而制得各色光学薄膜。这种陶瓷材料应致密均匀,且较容易地被电子束轰击,蒸发溅射。要求其含杂量小于0.20%,外观平整,无其它染色污染,均匀一致,要求TiO_2和ZrO_2重量百分比为1∶1。
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