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1、前言近年来。随着装置集成化、高性能化的飞速发展．以纳米量纲制造各种产品的极细微加工技术取得了大发展。在具有代表性的极细加工技术中，有电子束刻蚀技术、浸渍笔刻蚀技术。等，但因装置价格高昂．或因连笔描画逐次加工法的工艺限制等，存在着生产能力太小等课题，在现状下，尚难于作为实用的装置制作工艺进行应用。