隔层不交叠多层电感分析与设计

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提出了一种隔层不重叠的新型结构片上螺旋电感。其实现工艺与标准CMOS多层布线技术兼容。结合螺旋电感的集总模型,利用电磁场仿真软件HFSS进行了该器件的模拟仿真,与相同结构参数和工艺参数的传统不隔层交叠多层电感相比,提出的新型电感在品质因子、自谐振频率、3dB带宽等性能参数上明显改善,其中电感品质因子提高3.5%,带宽增加65%,自谐振频率提高127%,且最大品质因子处对应的电感值达到nH量级,符合射频电路应用的需求。
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