【摘 要】
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以Zn（NO3）2·6H2O为前驱体,采用超声喷雾热解法在玻璃衬底上沉积了ZnO薄膜,采用X射线衍射（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）、紫外光谱仪（UVS）等对所得ZnO薄膜进行表征,研究了沉积温度
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以Zn（NO3）2·6H2O为前驱体,采用超声喷雾热解法在玻璃衬底上沉积了ZnO薄膜,采用X射线衍射（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）、紫外光谱仪（UVS）等对所得ZnO薄膜进行表征,研究了沉积温度对ZnO薄膜的结构、微观形貌及光学性能的影响。结果表明,沉积温度为500℃时所制备的薄膜质量最佳,形成的是六角纤锌矿ZnO结构,且薄膜沿（002）晶面择优取向生长显著,薄膜表面光滑致密,晶粒细小均匀,尺寸在50～60nm。薄膜表现出良好的光学性能,可见光透过率可达87%。
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