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用脉冲激光沉积技术(PLD)在MgO(100)基底上生长了嵌埋Co纳米晶的BaTiO3复合薄膜. 分别利用x射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)以及拉曼光谱(Raman)对薄膜的微观结构、表面形貌进行了表征. 结果表明该薄膜为c轴取向的四方晶体结构,薄膜表面均匀、致密、具有原子尺度的光滑性,其均方根表面粗糙度(RMS)达到0.15nm.Co以纳米晶形式嵌埋BaTiO3基体中,呈单分散性均匀分布,其粒径随激光脉冲数的增加而增大. Co:BaTiO3纳米复合薄膜拉曼峰的强度随钴纳米晶粒径的增加明显减弱,但是峰的宽度逐渐增加.