【摘 要】
：
纳米硅尖在原子力学显微镜、微机械电子、光学研究、纳米级图形加工上具有广泛的用途。然而,如何制备小曲率半径高纵横比的硅尖仍为有待解决的问题和挑战。根据各项异性湿法
【机 构】
：
大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室,大连理工大学精密与特种加工技术教育部重点实验室
【基金项目】
：
国家自然科学基金资助项目(编号:51675085;51475081)
论文部分内容阅读
纳米硅尖在原子力学显微镜、微机械电子、光学研究、纳米级图形加工上具有广泛的用途。然而,如何制备小曲率半径高纵横比的硅尖仍为有待解决的问题和挑战。根据各项异性湿法刻蚀硅尖原理,设计了硅尖的加工工艺流程,并制备出不同纵横比的纳米硅尖。通过观察掩模对角线刻蚀进程,得到了掩模对角线刻蚀速率与刻蚀温度的关系;对比了不同刻蚀温度对刻蚀硅尖的影响,发现采用40wt%KOH刻蚀液,水浴78℃的刻蚀条件满足自锐化且刻蚀出纳米硅尖曲率半径小而纵横比大,其曲率半径为26 nm,纵横比为1.9。
其他文献
在柴达木盆地西部地区的钻井施工过程中,地层造浆严重,导致钻井液固相含量高,严重影响了钻井速度。为了缩短建井周期,降低钻井综合成本,减少井下复杂情况的发生,采用了快速钻
<正>随着信用卡业务的不断发展,其风险问题也日益显露出来。在我国,由于商业银行开展信用卡业务单纯追求卡量的粗放式经营模式,使信用卡的信用风险集聚,造成商业银行面临
偶氮化合物的-N=N-双键在高温高压下容易断裂形成自由基,是一种具有自反应性的物质。由于在生产、运输等过程中不可避免地会掺杂杂质,对偶氮化合物的热稳定性产生影响,导致事故灾害的发生。因而本文选取两种油溶性偶氮化合物(偶氮二异丁腈(AIBN)、偶氮二异庚腈(ABVN))和一种水溶性偶氮化合物(偶氮二异丁脒盐酸盐(AIBA))这三种偶氮化合物,以及掺入不同杂质后的样品进行热危险性的研究。首先,利用差示
在中国现代文学的发展脉络中,郁达夫和刘呐鸥的小说着重将笔墨放置在心理描写这一领域,作品伴随着不可逃避的时代感伤,其共性表现在灵与肉的冲突以及女性身体的文化透视之中
以新疆那拉提景区为例,通过PEST模型分析其景区旅游发展现状,提出景区未来发展建议,以期为那拉提及其他新疆旅游景区发展提供参考。
<正>所谓字理,是指汉字自身的构字依据和组成规律。所谓字理教学,是依据汉字本来的构字理据进行识字和析词,让学生形象深刻地识记汉字的形义,感悟字词蕴含的文化内涵。汉字虽
我国建设工程造价咨询企业自2001年改制以来,已经整整十年。这十年,是中国城镇化加速推进的十年,是工程建设如火如荼的十年,也是中国建设工程造价咨询、设计、施工企业千载难
复杂网络系统渗入每个人的日常生活,大到互联网系统小到社交圈网络,这些复杂网络中包含着人类的活动轨迹特点,了解这类特点有助于指导人类生活,比如有效地进行社交推广,资源
以唐蕲州刺史兼御史中丞孙杲墓志为探讨核心,运用墓志与相关史籍对勘的方法,对墓主的生平以及所涉及的历史事件进行了重点的考释与分析,揭示出其对传世文献所起到的补缺、印
目的：了解某气相法二氧化硅公司作业场所职业病危害因素现状,对纳米粉尘提出针对性建议.方法：采用职业卫生现场调查法、职业卫生检测、职业健康检查和检查表法进行综合分析与评