Kapton抗原子氧侵蚀的Al2O3涂层研究

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在原子氧侵蚀地面模拟设备中对Kapton和利用反应溅射制备的Al2O3涂层进行了原子氧暴露实验,并采用XPS和SEM等分析手段对暴露前后试样表面的物理和化学变化进行了研究.结果表明,Kapton试样遭受了严重的侵蚀,质量损失较大;Al2O3涂层质量变化很小,对基体提供了良好的保护作用.XPS分析结果表明,Kapton的羰基与原子氧作用时形成CO2,随后CO2气体脱附.反应溅射的Al2O3涂层是富Al的,初始暴露时由于氧化反应而质量有少许增加,随时间延长,涂层变得完全符合化学计量.
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