相位测量轮廓术中计量信息的最佳采样方式

来源 :甘肃工业大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ling401
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通过将计量场强度分布表达为傅立叶形式,导出了简明的相位测量轮廓术(PMP)相位求解式,并根据最小二乘原理论证了步进式相移实现的PMP的最佳采样方式,实验结果表明,最佳采样方式为等间距满周期采样。
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