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分析了改进表面分流型二维PSD传感器的工作原理及信号调理电路，针对PSD传感器示值误差较大的缺点，设计了利用万能工具显微镜的实验标定系统，运用误差理论对传感器位置测试数据进行了标定修正。试验结果表明，PSD传感器A区的示值误差可减小到±0．02mm内。
改进型二维位置敏感探测器示值误差的标定
【摘 要】
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分析了改进表面分流型二维PSD传感器的工作原理及信号调理电路，针对PSD传感器示值误差较大的缺点，设计了利用万能工具显微镜的实验标定系统，运用误差理论对传感器位置测试数据进
【机 构】
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南通大学
【出 处】
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工具技术
【发表日期】
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2007年1期
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