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改进型二维位置敏感探测器示值误差的标定
改进型二维位置敏感探测器示值误差的标定
来源 :工具技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sxj007
【摘 要】
:
分析了改进表面分流型二维PSD传感器的工作原理及信号调理电路,针对PSD传感器示值误差较大的缺点,设计了利用万能工具显微镜的实验标定系统,运用误差理论对传感器位置测试数据进
【作 者】
:
袁江
邱自学
【机 构】
:
南通大学
【出 处】
:
工具技术
【发表日期】
:
2007年1期
【关键词】
:
PSD传感器
示值误差
标定
position sensitive detector (PSD)
position detecting error
Cali
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分析了改进表面分流型二维PSD传感器的工作原理及信号调理电路,针对PSD传感器示值误差较大的缺点,设计了利用万能工具显微镜的实验标定系统,运用误差理论对传感器位置测试数据进行了标定修正。试验结果表明,PSD传感器A区的示值误差可减小到±0.02mm内。
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