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二次离子质谱仪（SIMS）是表面分析中应用最广泛的技术之一。它的特点是高灵敏度（最低可探测浓度为ppm^-ppb数量级）和高分辨率（大约10A）。由于半导体材料的特殊性，即其电学特性是由微量元素所决定的，在掺杂、沾污等测量分析中SIMS已成为不可替代的手段。本文将对SIMS的原理及应用进行较为详细的介绍。