具有氧化硅、氮化硅抛光速率选择比的化学机械抛光液

来源 :军民两用技术与产品 | 被引量 : 0次 | 上传用户:leezuo
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
化学机械抛光工艺,就是使用一种含磨料的混合物和抛光垫抛光集成电路表面。在浅沟槽隔离层抛光工艺中,要求较高的氧化物介电质去除速率和较低的表面缺陷。本文主要研究针对如何提高氧化硅和氮化硅抛光速率选择比的专利申请,分析了实现上述目标主要采用的路径和效果,并通过对比,为相关领域的研发主体在拓宽技术研究思路、制定专利申请策略、构建专利保护体系方面提供参考信息。
其他文献
文章首先就面向开关柜的红外测温技术应用状况作出必要的分析和说明,而后进一步对其工作原理进行了讨论,对于深入了解红外测温系统有着积极价值。
文章首先针对当前我国电力环境中主变压器的重要性展开分析,在切实了解了常规的维护工作模式的基础上,提出需要基于整个主变压器的生命周期展开维护,唯有如此才能切实提升其工作
在冶金行业的发展历程中,节能一直是一个非常重要的问题。我国的冶金技术在近几年的发展中取得了重大进步。随着高效节能动力设备的应用,节能技术水平有着明显的提高,在应用与发
回弹是板材冲压成形过程中不可避免的加工现象,直接影响到冲压件的尺寸精度和零件最终形状。本文在对板料冲压回弹现象及原理分析的基础上,系统地归纳了板料回弹的各种方法,并从
随着我国科学技术的快速发展,我国的空间技术得到了快速的发展,同时空间低温技术作为空间技术中一项重要内容,也得到了长足的进步。空间低温技术是一项集合航空技术、低温冷冻技
为了增加(5.8GHz)FPV的图传信号质量,在发射功率为定值的情况下,想提高增益,就不得不把目光投向天线的选择上,一个好天线也许会带来出乎想象的效果,本文通过自制三叶草发送天线,四叶
电动葫芦是一种特种起重设备,电动葫芦具有体积小,自重轻,操作简单,使用方便等特点,它既可以单独作为起吊设备使用,又可与桥式起重机、龙门式起重机、悬臂吊等配套使用,它是提高劳动
三元催化转化器在排放污染物控制上起到了关键性作用,气密检测设备是催化器中不可缺少的,因此气密检测的方式、方法对催化器尤为重要。在现有的技术中,通常需要人工对工件进行手
热能表是供热计量收费的关键问题之一。本文提出了热能表准确度的整体测试方法和测试设备原理,这种测试方法周期短、精度高、测试简单,对促进我国热能表的发展有现实意义。
本文介绍一种用液压传动来调整试验空间的压力试验机,属于压力试验机技术领域。包括升降装置、施压装置,升降装置与施压装置通过立柱连接,并通过螺母紧固,立柱的上部设有上梁,施压