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期刊论文
先进测量洁净实验室概念设计探讨
先进测量洁净实验室概念设计探讨
来源 :洁净与空调技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:collinne
【摘 要】
:
依据对美国国家标准技术研究院(NIST)和普渡大学Birck纳米技术中心(BNC)先进测量洁净实验室的参观学习,并结合中国计量科学研究院(NIM)即将建设的先进测量洁净实验室的需求分析,对该
【作 者】
:
汪洪军
王健
【机 构】
:
中国计量科学研究院
【出 处】
:
洁净与空调技术
【发表日期】
:
2011年4期
【关键词】
:
先进
洁净
实验室
概念设计
Advanced Cleanroom Laboratory Conceptual design
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依据对美国国家标准技术研究院(NIST)和普渡大学Birck纳米技术中心(BNC)先进测量洁净实验室的参观学习,并结合中国计量科学研究院(NIM)即将建设的先进测量洁净实验室的需求分析,对该类实验室的工艺要求提出了概念性设计方案,希冀能给类似实验室建设需求分析和概念设计提供一些参考。
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