低能全元素离子注入机

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本文介绍了一台低能全元素离子注入机。它的能量范围为5~60keV;离子品种是从~1H到~(209)Bi;最低能量5keV的As~+、Se~+等重离子的靶流为2~5μA;注入靶片φ50;注入均匀度σ<3%;注入温度:室温~400℃可调。已制备出0.1μm以下的GaAs超薄有源层和硅超浅结。
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