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介绍了单级衍射光栅的应用背景及其基本理论,分析了单级衍射光栅与传统黑白透射光栅的不同之处.阐述了单级衍射光栅的制作技术,分析了以电子束光刻、X射线光刻和微电镀技术为主的工艺路线的优缺点.综述了X光单级衍射光栅的发展历程以及存在的问题,并指出了其未来的研究方向.
X光单级衍射光栅的研究进展
【摘 要】
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介绍了单级衍射光栅的应用背景及其基本理论,分析了单级衍射光栅与传统黑白透射光栅的不同之处.阐述了单级衍射光栅的制作技术,分析了以电子束光刻、X射线光刻和微电镀技术为
【机 构】
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中国工程物理研究院激光聚变研究中心,西南科技大学材料科学与工程学院
【出 处】
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材料导报：纳米与新材料专辑
【发表日期】
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2013年2期
【基金项目】
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四川省非金属复合与功能材料重点实验室开放基金（11zxfk19）
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