【摘 要】
:
本文中利用等离子体化学气相沉积法,制备了具有Si过渡层的DLC薄膜.利用俄歇深度分析的方法,研究了Si过渡层沉积条件如电压、气压和气源对Si过渡层的影响;利用薄膜应力分布测
【机 构】
:
中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室,中国科学院大学,
论文部分内容阅读
本文中利用等离子体化学气相沉积法,制备了具有Si过渡层的DLC薄膜.利用俄歇深度分析的方法,研究了Si过渡层沉积条件如电压、气压和气源对Si过渡层的影响;利用薄膜应力分布测试仪和划痕仪,研究了不同沉积条件下制备的Si过渡层对类金刚石薄膜内应力和附着力特性的影响;利用摩擦磨损仪,分析比较了薄膜的摩擦性能.研究表明:DLC薄膜与基底之间形成(Fe+Si+O混合层)/Si/(Si+C混合层)过渡层.过渡层制备过程中,气压、电压和Ar/Si H4比例升高,会导致过渡层中Si层厚度的减小.这种过渡层在一定范围内提高了DLC薄膜与基体之间的结合力,缓解了因薄膜与基底间不匹配而产生的应力.在大气环境下,优化的DLC薄膜与GCr 15钢对偶的摩擦系数及磨损率可低至0.02和8.2×10-14m3/(N·m).
其他文献
以黄药子提取液为还原剂和表面活性剂,快速制备出Ag纳米颗粒。通过紫外-可见分光光度计(UV-Vis)、透射电子显微镜(TEM)和X-射线衍射(XRD)对Ag纳米颗粒的形貌、成分和微观结构
Karakuduk油田的沉积微相研究处于空白,针对其地质特点,以区域沉积环境为基础,通综合岩心观察和岩心分析化验资料等多种资料,基于区域沉积体系研究,明确Karakuduk油田沉积体
数学教学中。教师应指导、引领学生投入到解决实际问题的实践活动中,让学生自己去研究、探索、合作,经历数学建模的全过程,初步领会数学建模的思想和方法。提高数学的应用意识和
建筑企业文化要重视人的因素,这里要强调精神文化的力量,希望用一种无形的文化力量形成一种行为准则、价值观念和道德规范,凝聚建筑企业员工的归属感。提高员工的积极性和创造性
建立了同时测定膨化食品中12种多环芳烃(PAHs)的Qu EChERS/气相色谱三重四极杆质谱(GC-MS/MS)的方法。称取2 g(精确至0.01 g)样品,加入10 mL正己烷提取15 min,采用500 mg乙二
采用表层角膜镜片术联合前房穿刺,手术治疗18例21眼圆锥角膜患者,经术后3个月~1年8个月的随访,患者的视力、矫正视力明显提高,角膜屈光力显著降低,平均为45.83D。认为对确诊为圆锥角
目前我国桥梁数目众多,桥梁养护工作形势日益严峻,如何科学、高效、经济的完成桥梁养护工作任务,是摆在我国桥梁养护工作者面前的一大现实问题。为了适应当前桥梁养护工作的需要
研究了制冷剂R290在电动汽车热泵空调系统潜在泄漏过程中的燃烧特性,通过实验得到了不同泄漏温度和体积流量下R290的燃烧特性,并与制冷剂R134a进行对比。实验表明:R290在低温
1.培养学生的探究精神对孩子来说,世界在他们的眼中是充满神秘感的。每个孩子都有很多很多个为什么,他们会提出这样亦或是那样的问题。我们要认真对待孩子的提问,从而培养他们实
对分光光度法测定竹荪中的粗多糖含量的不确定度进行评定。依据JJF 1059.1-2012标准要求及NY/T 1676-2008方法进行测定,分析该检测方法不确定度的主要来源并定量,计算相对应