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日本三菱电机公司，利用最新的微型机械加工技术——DRIE工艺，开发了高性能的加速度传感器(加速度测定范围2G，G=重力加速度)。该传感器与公司生产的老产品相比，加速度检测精度提高了2倍，此外，将偏置电压的温度漂移量抑制到1／2以下，提高检测精度，实现行业内最高水平的小型化与高性能化，同时，由于内置信号处理IC，实现低价格化。