【摘 要】
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Dear editor,rnStrain technology has become a common solution in the semiconductor manufacturing industry since 90-nm technol-ogy node to overcome the severe car
【机 构】
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Key Laboratory of Microelectronic Devices and Circuits,Institute of Microelectronics,Peking Universi
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Dear editor,rnStrain technology has become a common solution in the semiconductor manufacturing industry since 90-nm technol-ogy node to overcome the severe carrier mobility degradation of nanoscale microelectronic devices[1].Since layout may affect the stress distribution,layout dependent effect(LDE)becomes a serious issue in advanced technology nodes.
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