铂薄膜电阻器件表面保护的研究

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【摘要】

：

合成了用于铂薄膜电阻器件表面保护的材料,并研究了它对器件电学性能的影响。 The materials used for the surface protection of Pt thin film resistor devices were syn

【作者】

：

王守绪蔡寿辉吴志辉

【机构】

：

电子科技大学应用化学系,电子科技大学应用化学系,电子科技大学应用化学系

【出处】

：

表面技术

【发表日期】

：

1995年01期

【关键词】

：

表面保护薄膜电阻电学性能表面清洗体系温度温度系数熔融物元件表金属铂封接玻璃

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合成了用于铂薄膜电阻器件表面保护的材料,并研究了它对器件电学性能的影响。 The materials used for the surface protection of Pt thin film resistor devices were synthesized and their effects on the electrical properties of the devices were studied.

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