【摘 要】
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本专利介绍一种测量精度可以达到亚微弧的精密角度敏感仪。该角度敏感仪由光源、安装在被测量辐射的物体上的色散装置、分光计、法布里-珀罗干涉仪以及固态探测器组成。角度
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本专利介绍一种测量精度可以达到亚微弧的精密角度敏感仪。该角度敏感仪由光源、安装在被测量辐射的物体上的色散装置、分光计、法布里-珀罗干涉仪以及固态探测器组成。角度是由
This patent describes a precision measurement of sub-micro-arc can reach precision angle sensor. The angle sensor consists of a light source, a dispersive device mounted on the object to be measured, a spectrometer, a Fabry-Perot interferometer, and a solid state detector. Angle is by
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