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简述了近年来微波等离子体在薄膜材料合成、薄膜沉积、表面改性等方面的研究现状，并简要分析了其发展趋势。
微波等离子体镀膜的研究进展
【摘 要】
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简述了近年来微波等离子体在薄膜材料合成、薄膜沉积、表面改性等方面的研究现状，并简要分析了其发展趋势。
【机 构】
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安顺学院电子与信息工程学院,安顺学院农学院
【出 处】
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大科技
【发表日期】
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2004年期
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