磁致伸缩纳米级微量进给机构的实验研究

来源 :仪器仪表学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:woshishouhushen
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磁致伸缩效应可用作实现纳米级的微量进给。本文对所研制的磁致伸缩机构的性能进行了实验。此机构可在2.5μm范围内进行最小位移量为2nm,位置精度±2nm的微量位移。本文还介绍了利用磁致伸缩机构实现三向微量进给的微动工作台。
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