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在陶瓷管上用TiO2溅射法研制纳米薄膜乙醇传感器，同时作了机理分析。利用X射线衍射技术分析确定，在利用溅射法制备TiO2纳米薄膜时，随着退火温度的提高，所形成的TiO，薄膜晶体结构由无定型结构，向锐钛矿结构转变，随后又随温度升高逐渐转向金红石结构。晶粒大小随着退火温度的升高而增大，分别为13nm（500℃）、16nm（700℃）、28nm（1100℃）。经500℃退火的样品为锐钛矿晶体结构，晶粒尺寸为13nm，其乙醇灵敏度特性最好。此时元件的最佳加热工作电压8．0V，对应的工作温度为370℃。利用红外光谱