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以纳米尺度放电加工为对象,采用粒子模拟法和蒙特卡罗碰撞模型（PIC-MCC）,结合二次电子发射模型,对纳米级等离子体放电通道击穿过程的粒子运动、电磁场变化等情况进行模拟仿真,对比纳米尺度与传统微细尺度放电通道击穿过程的异同,讨论纳米尺度下放电加工的新特性,并对气体电离最佳击穿气压的存在性进行了验证。