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采用非平衡磁控溅射法制备不同V含量的ZrVCN复合薄膜，利用能谱分析、X射线衍射以及纳米压痕仪与摩擦磨损仪等研究 V 含量对薄膜的成分、微结构、硬度与摩擦性能的影响。结果表明，ZrVCN 复合膜呈现fcc结构，V的加入使薄膜衍射峰升高并变得尖锐，随V含量增加衍射峰向大角度方向偏移。随V含量增加，薄膜硬度先增加后降低，V与Zr的原子比n（V）/n（Zr）为0.31的薄膜硬度最高，为33.1 GPa。薄膜的室温摩擦性能和700℃下的摩擦性能均随V含量增加而提高。n（V）/n（Zr）为0.69的ZrVCN薄膜在