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近年来随着微电子工业的发展,要求发展超薄耐热聚合物薄膜,尤其是聚酰亚胺(PI)超薄薄膜.L-B法能制造超薄PI薄膜.本文叙述了L-B法的发展,并介超了PI耐热聚合物的制法.
以L—B法制造超薄耐热聚合物薄膜的新发展
【摘 要】
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近年来随着微电子工业的发展,要求发展超薄耐热聚合物薄膜,尤其是聚酰亚胺(PI)超薄薄膜.L-B法能制造超薄PI薄膜.本文叙述了L-B法的发展,并介超了PI耐热聚合物的制法.
【机 构】
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上海市合成树脂研究所上海,200233
【出 处】
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高分子通报
【发表日期】
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1992年1期
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