【摘 要】
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分别采用浸渍法和电镀法对多孔硅薄膜进行了锌掺杂。用扫描探针显微镜研究了多孔硅掺杂前后的表面形貌，用荧光分光光度计分析了样品的光致发光特性，发现锌掺杂增强了多孔硅的蓝
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目（60276015）,教育部科学技术研究资助项目（204139）,甘肃省高分子材料重点实验室开放基金资助项目（KF-05-03）
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分别采用浸渍法和电镀法对多孔硅薄膜进行了锌掺杂。用扫描探针显微镜研究了多孔硅掺杂前后的表面形貌，用荧光分光光度计分析了样品的光致发光特性，发现锌掺杂增强了多孔硅的蓝光发射，且在420nm附近出现了一个小峰，样品放置一个月后，发光强度和峰位变化很小。红外吸收谱表明锌掺杂后，Si-O-Si键、Si2O-SiH键、H2Si-O2键的振动增强，且引入了Zn-O键。锌掺杂多孔硅发射蓝光是由于掺杂后多孔硅无定形程度增大，应力增大，表面进一步被氧化，使纳米硅粒中激发的电子一空穴对在Siq层中或纳米硅粒与SiOx层界面的
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