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期刊论文
硅烷在现代科技中的地位
硅烷在现代科技中的地位
来源 :低温与特气 | 被引量 : 0次 | 上传用户:HC_luopo
【摘 要】
:
评述了硅烷在现代科技中应用的发展,介绍了硅烷在各个领域的应用,指出以更高的纯度,更低的成本,更大量地生产硅烷,充分发挥硅烷的特长,探索更广泛和独特的应用,制造无数优异的功能材
【作 者】
:
胡晨展
余京松
【机 构】
:
浙江大学材料系
【出 处】
:
低温与特气
【发表日期】
:
1998年4期
【关键词】
:
硅烷
化学气相沉积
高纯度
硅
非晶硅
含硅薄膜
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评述了硅烷在现代科技中应用的发展,介绍了硅烷在各个领域的应用,指出以更高的纯度,更低的成本,更大量地生产硅烷,充分发挥硅烷的特长,探索更广泛和独特的应用,制造无数优异的功能材料,21世纪硅烷应用的前景将十分广阔。
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