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基于金属氧化物半导体气体传感器的工作机理，提出了一种微型氢气传感器结构设计。针对几个主要设计参数，利用有限元分析软件ANSYS对这种结构进行了热分析。通过分析和比较，完成了对微型氢气传感器结构的优化设计，并对优化后的传感器进行了瞬态分析。分析结果表明：所设计的传感器结构符合设计要求。
微型氢气传感器的结构设计与仿真分析
【摘 要】
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基于金属氧化物半导体气体传感器的工作机理，提出了一种微型氢气传感器结构设计。针对几个主要设计参数，利用有限元分析软件ANSYS对这种结构进行了热分析。通过分析和比较，完成
【机 构】
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南京工业大学车辆与工程机械研究所
【出 处】
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传感器与微系统
【发表日期】
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2008年11期
【基金项目】
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江苏省自然科学基金资助项目（BK2004214）
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