【摘 要】
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在提出间接加热终端式MEMS微波功率传感器的结构和工艺的基础上，对其基本单元：头面波导（CPW）、终端电阻和热电堆之间进行了匹配性设计，用软件HFSS进行了模拟，模拟结果包括共面波导
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在提出间接加热终端式MEMS微波功率传感器的结构和工艺的基础上，对其基本单元：头面波导（CPW）、终端电阻和热电堆之间进行了匹配性设计，用软件HFSS进行了模拟，模拟结果包括共面波导与接触垫间的阻抗匹配的分析以及热电偶的数目和热电堆的接近对CPW性能影响的分析。根据这些模拟结果，传感器中接触垫与共面波导之间的渐进区长度设计为150μm，热电偶的对数设计为50对，热电堆与CPW之间的距离设计为50μm，并选择了GaAs和Au作为热电偶的两臂，TaN作终端电阻。
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