纳米定位测量机操作-测量结果

来源 :纳米技术与精密工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：jyjs1234

【摘要】

：

伊尔梅瑙工业大学过程测量和传感技术研究所研制了三维纳米定位和测量机(NPMM).阿贝无偏设计使得该机器异常精确.在整个25 mm×25 mm×5 mm的定位和测量域内,干涉测

【作者】

：

JAGERGerd GRUNWALDRainer MANSK

【机构】

：

德国伊尔梅瑙工业大学

【出处】

：

纳米技术与精密工程

【发表日期】

：

2004年2期

【关键词】

：

纳米定位纳米测量激光干涉仪控制系统长距扫描探针技术 nanopositioning nanomeasuring laserinterferomete

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伊尔梅瑙工业大学过程测量和传感技术研究所研制了三维纳米定位和测量机(NPMM).阿贝无偏设计使得该机器异常精确.在整个25 mm×25 mm×5 mm的定位和测量域内,干涉测长系统分辨力可达0.1 nm,不确定度达5～10 nm.提供了纳米定位测量机的基本信息,介绍其操作模式,并给出了测量结果.

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