论文部分内容阅读
以多模干涉耦合器为主体，通过载流子注入效应所引起的折射率改变来调整二重像之间的相位差，当折射率下降所引起的相位改变达到π相位时完成开关功能。在AlGaAs/GaAs/AlGaAs外延材料上，利用两步湿法腐蚀工艺，实际制作了2×2光开关并进行了测试。测试结果表明，工作在1.55μm波段，当注入电流达到160mA时，完成了开关功能。