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研究了在低TEOS浓度和高TEOS浓度下, TEOS浓度、NH3浓度、H2O浓度对SiO2纳米粒子最终粒径的影响.发现,在低TEOS浓度下制备的粒子,单分散性较好,粒径偏大;在高TEOS浓度下制备的粒子,粒径较小,属于纳米级粒子.另外,在低TEOS浓度和高TEOS浓度下,NH3浓度、H2O浓度对最终粒径的影响有较大差异.