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本文介绍了用铟锡（ＩＴ）合金靶和氧化铟锡（ＩＴＯ）烧结靶制备ＩＴＯ膜的特点；采用ＩＴＯ靶时溅射工艺参数对ＩＴＯ膜性能的影响；以及我们自行设计制造的ＴＤ－３６０型立式ＩＴＯ生产线的特点。试验运行表明：国产ＩＴＯ导电玻璃生产线生产的产品完全能够达到国外同类产品水平。
ITO 膜的制备方法和 TD-360 型立式 ITO 透明导电膜生产线
【摘 要】
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本文介绍了用铟锡（ＩＴ）合金靶和氧化铟锡（ＩＴＯ）烧结靶制备ＩＴＯ膜的特点；采用ＩＴＯ靶时溅射工艺参数对ＩＴＯ膜性能的影响；以及我们自行设计制造的ＴＤ－３６０型立式ＩＴＯ生产线的特点。试验运行表明：国产ＩＴＯ导电玻璃生产线生产
【机 构】
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机械工业部沈阳真空技术研究所
【出 处】
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真空
【发表日期】
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1998年01期
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