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采用激光散斑干涉法测量材料的热变形,利用已知热膨胀系数的材料作为标准试件,无需对温差进行精密测量.在相对简单的实验设备条件下,得到较高精度的材料热膨胀系数.
材料热膨胀系数的激光散斑干涉测量方法
【摘 要】
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采用激光散斑干涉法测量材料的热变形,利用已知热膨胀系数的材料作为标准试件,无需对温差进行精密测量.在相对简单的实验设备条件下,得到较高精度的材料热膨胀系数.
【机 构】
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清华大学工程力学系,清华大学微电子所
【出 处】
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力学与实践
【发表日期】
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2003年4期
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