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阐述了利用离子束刻蚀技术制作线列长方状拱面石英微透镜阵列的工艺方法,对所制微光学元件的光学性能进行了测试和讨论,所制成的石英微透镜阵列器件在线列YBa2Cu3O7-δ高Tc超导薄膜红外探测器上得到了应用。实验结果表明,混合型的石英微透镜/红外探测器结构显著改善了线列YBCO高温超导薄膜红外探测器的光响应特性。