多电荷Cr离子注入聚合物的微观结构和离子浓度分布

来源 :北京师范大学学报：自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：xsy00

【摘要】

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采用MEVVA源引出的Cr离子对聚酯（PET）薄膜进行了离子注入，引出的Cr离子具有多种电荷态，多种能量的Cr离子同时注入，其射程分布与单能离子注入的射程分布有明显的差别，借助于TRIM计算

【作者】

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吴瑜光沈定予等

【机构】

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北京师范大学射线束技术和材料改性教育部重点实验室,北京大学

【出处】

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北京师范大学学报：自然科学版

【发表日期】

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2000年6期

【关键词】

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背散射分析 Cr离子注入高分子聚合物表面金属化 analysis by RBS Cr ion implantation electrical prope

【基金项目】

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国家自然科学基金资助项目!(5 96 710 51),,国家“八六三”计划资助项目

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采用MEVVA源引出的Cr离子对聚酯（PET）薄膜进行了离子注入，引出的Cr离子具有多种电荷态，多种能量的Cr离子同时注入，其射程分布与单能离子注入的射程分布有明显的差别，借助于TRIM计算程序，采用多次叠加法得出了合理的计算结果，计算结果表明，由于多电荷叠架注入，Cr原子浓度分布出现3导结构，用散射RBS方法分析了Cr离子在PET中的剖面分布，所测量的Cr原子浓度分布形态与计算结果相近，但是所的分布比计算结果分布范围窄，相应位置上的原子浓度低，说明溅射效应对Cr原子浓度分布和注入到基体中的注量有明显的影

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