【摘 要】
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研究工作的发展对设备提出了各种不同的要求。为了更好地满足科研工作的需要,使各种科研工作得以进行,必须具有相应的设备。若每一实验都在专用设备上进行,则投资太大。所以
【机 构】
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中科院半导体所,中科院半导体所,中科院半导体所,中科院半导体所
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研究工作的发展对设备提出了各种不同的要求。为了更好地满足科研工作的需要,使各种科研工作得以进行,必须具有相应的设备。若每一实验都在专用设备上进行,则投资太大。所以很多单位都在搞一机多用的设备。研究用离子注入机也应根据不同情况和用途作成具有多种功能的机器。目前国产的离子注入机主要是为离子注入设计的。要做一些别的实验就困难了。这对科研工作有不少影响。
The development of research work put forward various requirements for equipment. In order to better meet the needs of scientific research, so that various scientific research can be carried out, must have the appropriate equipment. If each experiment is conducted on a dedicated device, the investment is too great. So many units are engaged in a machine multi-purpose equipment. Research ion implanter should also be based on different situations and uses made of a variety of functions of the machine. At present, the domestic ion implantation machine is mainly designed for ion implantation. It is difficult to do some other experiments. This has a lot of impact on scientific research.
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