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本文介绍了超高斯渐变反射率激光反射镜设计的基本原理。采用中心带孔的固定挡法制备渐变厚度薄膜的工艺方法，用ｅ型电子束枪在光学真空镀膜机中蒸发镀制出了膜斑直径为：３～６ｍｍ，级次为：２５～７的超高斯渐变反射镜
超高斯渐变反射率激光反射镜
【摘 要】
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本文介绍了超高斯渐变反射率激光反射镜设计的基本原理。采用中心带孔的固定挡法制备渐变厚度薄膜的工艺方法，用ｅ型电子束枪在光学真空镀膜机中蒸发镀制出了膜斑直径为：３～６ｍｍ，级次为：２５～７的
【机 构】
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清华大学现代应用物理系;
【出 处】
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光学技术
【发表日期】
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2004年期
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