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采用蒙特卡罗模拟对氮气辉光放电离子(N2+,N+)轰击阴极的能量分布,随放电参数的变化规律进行了研究.结果表明:离子在阴极壁的能量分布与放电参数有关,即随着工作气压的增加,向低能区压缩;随着电压升高,向高能区蔓延;随气体温度的升高,到达阴极壁的离子N+大幅度增加,N+的能量也显著提高;当工作气压P<200 Pa时,阴极壁上N+主要以高能粒子出现,但粒子数密度很低,随着工作气压或电压上升,离子N+的密度也将减少.