论文部分内容阅读
采用蒙特卡罗模拟对氮气辉光放电离子(N2+，N+)轰击阴极的能量分布，随放电参数的变化规律进行了研究.结果表明：离子在阴极壁的能量分布与放电参数有关，即随着工作气压的增加，向低能区压缩；随着电压升高，向高能区蔓延；随气体温度的升高，到达阴极壁的离子N+大幅度增加，N+的能量也显著提高；当工作气压P＜200 Pa时，阴极壁上N+主要以高能粒子出现，但粒子数密度很低，随着工作气压或电压上升，离子N+的密度也将减少.