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新型电子功能材料—金刚石膜及其应用
新型电子功能材料—金刚石膜及其应用
来源 :电子科技导报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhongnan1999
【摘 要】
:
金刚石材料具有其它半导体材料不可比拟的许多优点,作为一种新型电子功能材料,有广泛应用前景。文内介绍了剖分应用实例,今后有待解决的问题及其研究动向。
【作 者】
:
薛泉林
【机 构】
:
电子部七所
【出 处】
:
电子科技导报
【发表日期】
:
1997年7期
【关键词】
:
金刚石
薄膜
电子功能材料
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金刚石材料具有其它半导体材料不可比拟的许多优点,作为一种新型电子功能材料,有广泛应用前景。文内介绍了剖分应用实例,今后有待解决的问题及其研究动向。
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