新型电子功能材料—金刚石膜及其应用

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金刚石材料具有其它半导体材料不可比拟的许多优点,作为一种新型电子功能材料,有广泛应用前景。文内介绍了剖分应用实例,今后有待解决的问题及其研究动向。
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