【摘 要】
:
采用直流磁控溅射法在不同溅射功率和工作气压条件下沉积Cu薄膜,对其进行X射线衍射、原子力显微镜、电阻率测试,分析了工艺参数对Cu薄膜的沉积速率、微观结构和电阻率的影响
【机 构】
:
西南科技大学四川省非金属复合与功能材料重点实验室-省部共建国家重点实验室培育基地
论文部分内容阅读
采用直流磁控溅射法在不同溅射功率和工作气压条件下沉积Cu薄膜,对其进行X射线衍射、原子力显微镜、电阻率测试,分析了工艺参数对Cu薄膜的沉积速率、微观结构和电阻率的影响。通过紫外光刻技术将Cu薄膜制成桥箔,采用电爆测试平台获得Cu桥箔的电爆参数,研究了Cu薄膜的晶粒尺寸、择优取向对其电爆性能的影响。结果表明:随溅射功率的增大,Cu薄膜的沉积速率增加、晶粒尺寸增大、Cu(111)晶面择优取向特性变差,且电阻率降低;随溅射工作气压增大,Cu薄膜的沉积速率降低、晶粒尺寸减小、Cu(111)晶面择优取向越明显,且电
其他文献
目的探讨阿立哌唑作为增效剂治疗难治性抑郁症的疗效和安全性。方法选择经单一抗抑郁药治疗8W以上仅部分有效或无效的抑郁症患者75例(汉密尔顿抑郁量表(HAMD)≥14分],随机分为研
随着社会的发展,人类的物质文化生活水平不断提高,老年人口的比例也随之增加。老年人的身体健康状况已受到社会的极大关注,老年体育也将在未来生活中起到重要作用。通过问卷调查
目的:了解评价 D-二聚体检测对妊娠期糖尿病合并症的诊断价值。方法回顾性分析了150例健康孕妇、120例患有妊娠期糖尿病无合并症的孕妇、78例患有妊娠期糖尿病合并症(含轻、较
介绍了位移型阻尼器消能减震结构在多遇地震下的计算分析方法。针对某框架结构,布置16组防屈曲耗能钢板墙加固改造,采用ETABS2013软件进行了多遇地震快速非线性分析和罕遇地震
目的:探讨扩散张量成像(diffusion tensor imaging,DTI)在指导邻近皮质脊髓束(corticospinal tract,CST)脑胶质瘤术后放疗方案中的应用价值。方法:30例邻近CST脑胶质瘤术后拟行放疗患
<正> 法国 Total 公司的 J.L.Mau(?)eon 和 J.C.Courcelle 对涉及到重油 FCC 的热平衡等问题,提出了一些新的见解。兹简要介绍于下:一、炭差炭差是指待生与再生两种催化剂含
中华文化博大精深、源远流长,尤其是中国书画艺术,在中国历史和现代化的发展道路上具有极其重要的影响作用。随着书画艺术的应用范围不断拓宽,茶包装设计中也逐渐融入了此种
电阻炉是工农业生产中常用的电加热设备,广泛应用于冶金、机械、建材等行业.传统的电阻炉采用模拟式控制仪表、PID算法,接触器断续调节温度,控制精度低,温度波动范围大.为此,
采用硅烷偶联剂KH-550和KH-570分别对纤维增强复合材料(FRP)废渣进行表面处理。制备了剑麻纤维/FRP废渣增强不饱和聚酯树脂复合材料。研究了FRP废渣的表面处理方式、FRP废渣
在经商者拥有手持电话、私人轿车、别墅之时,知识阶层率先将目光移向了个人电脑。今日中国,越来越多的人对个人电脑产生了浓厚的兴趣。许多中国人将个人电脑作为继彩电、录相