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结合高斯光束电场分布和平面波分析方法,推导了高斯光束照射下零差测振系统光电信号的解析表达式,分析了由高斯光束引起的相对测量误差。分别讨论了探测器与光传输轴线的距离、探测器与光腰的距离、振动位移、光腰半径与测量误差的关系。并对特定参数的零差测振系统进行了数值仿真,仿真结果与理论分析吻合。结果表明：振动位移和光腰半径与测量误差的关系比较复杂,测量误差随振动位移增加而增大的同时呈周期性波动;光腰半径与测量误差的关系曲线出现一零值点和一极大值点。为高精度激光测量误差分析提供了理论依据。