故障树分析法在半导体设备故障诊断中的应用

来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yuanyuan814606754
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介绍了故障树分析法的原理。以反应离子刻蚀(RIE)设备的典型故障为例,建立故障树,通过求解最小实际故障来进行定性分析。尝试扩展故障树在故障判断和改进真空系统可靠性方面的应用,得出几个有针对性的结论。该方法能提高故障诊断的效率和准确性。
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