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期刊论文
半导体气敏陶瓷的研究方法
半导体气敏陶瓷的研究方法
来源 :太原理工大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:huweibo
【摘 要】
:
以SnO2为基体材料的气敏元件为例,总结了半导体气敏陶瓷元件的制备过程和研究方法,分析了掺杂、热处理和表面修饰工艺对气敏元件性能的影响,介绍了气敏元件性能的实验和检测
【作 者】
:
边志华
【机 构】
:
太原理工大学图书馆
【出 处】
:
太原理工大学学报
【发表日期】
:
2003年1期
【关键词】
:
气敏陶瓷
研究内容
研究方法
【基金项目】
:
山西省自然科学基金项目 (2 0 0 2 10 5 3 )
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以SnO2为基体材料的气敏元件为例,总结了半导体气敏陶瓷元件的制备过程和研究方法,分析了掺杂、热处理和表面修饰工艺对气敏元件性能的影响,介绍了气敏元件性能的实验和检测方法.
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