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期刊论文
硅基微机械微波传输线的制备与特性分析
硅基微机械微波传输线的制备与特性分析
来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:mailxxf
【摘 要】
:
介绍了三种硅基微机械微波传输线:矩形波导、V型槽及W型槽共平面波导,及其三种传输线的制备工艺流程。分析认为,制备方法不同,导致传输线结构、特性阻抗、插入损耗等特性亦不同。
【作 者】
:
石艳玲
杨震
赖宗声
【机 构】
:
华东师范大学电子科学技术系
【出 处】
:
半导体技术
【发表日期】
:
2001年4期
【关键词】
:
微机械工艺技术
矩形波导
共平面波导
插入损耗
硅基
微波传输性
micromachined technology
rectangular waveguide
【基金项目】
:
国家自然科学基金,高等学校博士学科点专项科研项目,上海市应用材料研究与发展基金
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介绍了三种硅基微机械微波传输线:矩形波导、V型槽及W型槽共平面波导,及其三种传输线的制备工艺流程。分析认为,制备方法不同,导致传输线结构、特性阻抗、插入损耗等特性亦不同。
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